삼성전자, 하이닉스 반도체가 적용한다는 EUV는 무엇일까?

EUV를 알아보자. 뜻부터 봐야하는데 E-UV로 보면 감이 온다. UV는 ultraviolet으로 자외선이다. 인간이 볼 수 있는 가시광선에서 보라석을 넘어갔다고 해서 울트라바이올렛 자외선이라고 한다. 그리고 E는 extreme이다. 둘이 합치면 극도의 자외선. 극자외선이라고 보면 되겠다. 좀 더 구체적으로는 X선에 가까운 13.5나도의 빛이다. 그리고 이전에는 DUV라고 해서 Deep자외선이다. 193나노미터 파장의 빛이다.